慢走絲切割平面度測量法、慢走絲切割平面度測量法 本文來源：http://hi.baidu.com/czqunji/home 申請人/專利權(quán)人：西部金屬材料股份有限公司 申請人地址：陜西省西安市高新區(qū)科技三路56號 發(fā)明設(shè)計人：丁旭;閆建峰;劉洋;李靜;趙娟;李聰兵;郭磊;馬琨;趙小明 專利代理機構(gòu)：中國有色金屬工業(yè)專利中心 慢走絲切割平面度測量法其特征在于采用非接觸式激光平面度測量儀，其測量過程是用一束激光以一定角度聚集在被測工件表面，再從另一角度對工件表面的激光光斑進行成像。慢走絲切割平面度測量法是對慢走絲切割鎢及鎢合金器件平面度測量方法，其測量原理是激光三角法，通過非接觸式激光平面度測量儀來實現(xiàn)，其測量精度高可滿足鎢及鎢合金器件平面度小于０．０５ｍｍ的要求。